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珂玛科技:陶瓷加热器及8寸型号静电卡盘已经量产将重点研发12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件2025年6月28日

时间: 2025-06-28

  金融界9月13日消息,有投资者在互动平台向珂玛科技提问:贵公司不断突破中高端产品技术瓶颈,推动国产替代进程。请问能否介绍一下贵公司在解决陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等产业链“卡脖子”产品研发和量产以及订单情况?祝愿公司在国产替代的道路上高奏凯歌、一路长虹!

  公司回答表示:公司陶瓷加热器已有多款型号装配于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备等,装配于刻蚀机的8寸型号静电卡盘也已经量产。公司将进一步完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品,并重点研发突破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件,加速推动市场化应用。

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